? 7月28日，宿州市經濟技術開發區官網發布了宿州伊維特新材料有限公司半導體氣體、材料研發及國產化二期擴建項目環境影響評價第一次公示。
據了解，該項目在宿州經濟技術開發區金安路原廠區擬新建六氟乙烷與八氟環丁烷純化、分裝裝置，設計產能500噸/年；混配氣，產能45000m3/年；電子級笑氣，產能6000t/a；可燃性及腐蝕性氣體620t/a、可燃性氣體及大宗氣體85750立方/年。項目總投資40590.14萬元。宿州伊維特新材料有限公司是浙江陶特容器科技有限公司的全資子公司，成立于2017年6月12日，注冊資本12000萬元。
六氟乙烷因其無毒無臭、高穩定性被廣泛應用在半導體制造過程中，可作為蝕刻劑（ Dry Etch ）、化學氣相沉積（ Chemical Vapor Deposition ）后的清洗腔體。目前，六氟乙烷作為蝕刻劑及CVD腔體清洗劑，純度都要求達到99.995% 以上。六氟乙烷 ODP 值（臭氧層破壞潛能值）為零， GWP 值 （溫室效應能力）為9200，可作為低溫制冷，另外少部分應用在醫學手術中及其它新開發的領域。
八氟環丁烷，又名全氟環丁烷，化學性質穩定，無毒且無臭氧影響，溫室效應低，是一種綠色環保型特種氣體，主要應用于高壓絕緣、超大規模集成電路蝕刻劑、代替氯氟烴的混合制冷劑、氣溶膠、清洗劑（電子工業用）、噴霧劑、熱泵工作流體等。隨著蒙特利爾協議的實施和電子行業的飛速增長，八氟環丁烷的作用日趨重要，使用量也在逐年上升，是一種重要的特種含氟氣體。
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電子特氣是一個基本被國外巨頭壟斷的行業，目前國內三氟化氮產能較多。業內人士指出，晶圓廠所需特種氣體的品種很多，需求也很大，目前市場上還有80%份額品種在外資廠商手中，國內特種氣體廠商應該朝不同品種的氣體做突圍。
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