南大光電擬募資6.35億元！投建ArF光刻膠、2000噸/年三氟化氮擴建等項目
11月7日，南大光電發布公告，披露向特定對象發行股票預案。本次發行對象為不超過35名符合證監會規定的特定對象，募集資金總額不超過63,500萬元，扣除發行費用后的凈額將用于光刻膠項目、擴建2000噸/年三氟化氮生產裝置項目、補充流動資金。
（一）光刻膠項目
本項目擬投資 66,000萬元，進行 ArF 光刻膠產品開發和產業化工作。項目目標到 2021 年底，將在我國：1）首次建立 ArF 光刻膠產品大規模生產線，形成年產 25 噸 ArF（干式和浸沒式）光刻膠產品的生產能力，產品性能滿足90nm-14nm 集成電路制造的要求。產品通過 IC 芯片制造企業的使用認證，實現批量銷售；2）建立國內第一個專業用于 ArF 光刻膠產品開發的檢測評估平臺。平臺配備 ArF 光刻機、涂膠顯影一體機、特征尺寸掃描電鏡、缺陷檢測和分析等檢測設備，滿足先進光刻膠產品和技術開發的需求；3）建立一支具有國際水平的先進光刻膠產品開發和產業化隊伍。?
本項目的實施單位為子公司寧波南大光電材料有限公司，建設內容包括“先進光刻膠及高純配套材料的開發和產業化”和“ArF 光刻膠產品的開發和產業化”。?
先進光刻膠及高純配套材料
的開發和產業化
建設內容為建立光刻膠配套高純顯影液的規?；a線，包括合成、純化、分析、灌裝等工藝的配套生產裝置及分析檢測設備；另外還將建設國內首個先進光刻膠分析測試中心，包含浸沒式光刻機、涂膠顯影一體機和 CD-SEM 等關鍵量測設備。?
項目完全達產后，將建成光刻膠研發中心、先進光刻膠的分析測試中心，以及年產 350 噸的高純顯影液的生產線。ArF 光刻膠產品的開發和產業化?
建設內容為建立包含高等級超凈間在內的 ArF 光刻膠生產線，具備 ArF 光刻膠產品的生產能力；建立 ArF 光刻膠配套關鍵組分材料的生產能力，完善光刻膠原材料的供應。?
項目完全達產后，將建成年產 5 噸 ArF 干式光刻膠的生產線、年產 20 噸ArF 浸沒式光刻膠的生產線以及年產 45 噸的光刻膠配套高純試劑的生產線。
高端光刻膠長期為國外企業壟斷的現狀，對我國芯片制造具有“卡脖子”風險，高端光刻膠領域亟待打破外資壟斷局面。本次募投項目實施完畢后，南大光電將建成 ArF 光刻膠（干式和浸沒式）及相關配套試劑生產線，產品性能滿足 90nm-14nm集成電路制造的要求，實現國內高端光刻膠零的突破，實現國產先進光刻膠及配套材料的進口替代，有助于解決高端光刻材料“卡脖子”的問題。
（二）擴建 2000噸/年三氟化氮生產裝置項目?
本項目擬投資 30,000萬元，擴建 2000 噸/年三氟化氮生產裝置項目，包括：5#三氟化氮電解廠房、6#三氟化氮電解廠房、3#三氟化氮后處理廠房。項目的實施主體為山東飛源氣體有限公司，實施地點位于山東省淄博市高青化工產業園。項目計劃建設期為 2 年，即 2021 年至 2022 年。?
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2019 年 11 月，公司開始布局含氟電子特氣業務，完成了對飛源氣體的收購。中國廠商是含氟氣體生產的重要參與方，飛源氣體是全球三氟化氮和六氟化硫主要生產企業之一，在含氟氣體產品的制備、充裝、安全生產、質量控制、安全運輸等方面已取得了全面突破，并通過為國際領先企業批量供貨，積累了豐富的市場和客戶服務經驗。飛源氣體下游客戶包括臺積電、京東方、華星光電、惠科股份、龍騰光電等知名客戶，擁有豐富的客戶渠道。收購飛源氣體后，南大光電增加了含氟電子特氣業務板塊，對公司電子特種氣體業務的布局與發展具有重要的戰略價值。?
中國是下游產業半導體、顯示面板的消費大國，未來幾年下游產業的跨越式增長將積極消化國內產能，大幅提升含氟電子特氣的需求，因此國產三氟化氮廠商面臨寶貴的發展機遇，三氟化氮生產向國內轉移是大勢所趨。公司通過本次募投項目的實施，將擴大三氟化氮氣體產能，從而深化含氟電子特氣領域投資布局，增強對公司集成電路客戶的服務能力，擴大公司產品的市場份額，參與含氟電子特氣全球競爭，保持公司在電子特氣領域的領先地位和市場競爭力。?
