電子液體是一種透明、無色、熱穩定的化液體,非常適合用于半導體制造行業的許多單相傳熱應用。其液體范圍(30°C至215°C)使其成為蝕刻機、離子注入機、測試機等各種應用的理想選擇。由于Fluorinert液體是一種單一化合物,其成分不會隨著時間的推移而發生變化或分離。這樣可以將濾失量保持在水平,并確保輸送特性不會隨時間變化。
電子液體是一種透明、無色、熱穩定的化液體,非常適合用于半導體制造行業的許多單相傳熱應用。其液體范圍(30°C至215°C)使其成為蝕刻機、離子注入機、測試機等各種應用的理想選擇。由于Fluorinert液體是一種單一化合物,其成分不會隨著時間的推移而發生變化或分離。這樣可以將濾失量保持在水平,并確保輸送特性不會隨時間變化。