六氟丁二烯C4F6：新一代電子級高純氣體，引領半導體產業升級
一、產品屬性
CAS號： 685-63-2
品名及化學式： 六氟-1,3-丁二烯，C4F6
外觀、狀態： 無色、無味氣體，加壓可液化。
主要成分： 純度≥99.999%，雜質含量極低。
物理性質： 沸點5.5℃，密度（氣態）4.47g/L（25℃，101.3kPa），不溶于水，微溶于有機溶劑。
化學性質：有毒性，具有易燃性
二、產品功能
主要用途：
蝕刻氣體：具有高選擇性，高蝕刻進度，高蝕刻效率，高光阻，低GWP污染主要用于集成電路替代傳統干法蝕刻氣體四氟化碳（R14）、八氟環丁烷(RC318)、六氟乙烷(R116)、三氟甲烷(R23)等
聚合物單體：是制備多種新型氟樹脂、氟塑料、氟橡膠的重要單體材料。
解決問題： 解決傳統蝕刻氣體選擇性差、刻蝕速率慢、對環境污染等問題，提高器件性能和生產效率。
獨特優勢：
高選擇性： 對光刻膠和氮化硅具有極高的選擇性，可實現精細的圖形轉移。
高蝕刻速率： 具有快速、均勻的蝕刻速率，縮短生產周期。
高純度： 高純度保證了刻蝕過程的穩定性和可靠性。
環境友好： 全氟化合物，具有極低的全球變暖潛能值（GWP），符合環保要求。
技術特點： 采用先進的深冷分離技術和精餾技術制備，確保產品的高純度和穩定性。
三、產品應用場景
具體應用：
半導體制造： 用于刻蝕硅、二氧化硅、氮化硅等材料，廣泛應用于邏輯芯片、存儲芯片、傳感器等器件的制造。
平板顯示： 用于刻蝕玻璃基板上的薄膜，應用于液晶顯示器、有機發光二極管等顯示器件的制造。
行業案例： 已成功應用于多家全球領先的半導體制造企業，為其產品性能的提升做出了重要貢獻。
客戶群體： 主要面向半導體制造、平板顯示等高科技制造企業。
四、產品賣點
安全性能： 在推薦的使用條件下，具有良好的安全性。
環保性能： GWP極低，符合國際環保法規，有利于企業實現綠色生產。
經濟效益： 提高產品良率，降低生產成本，縮短產品上市時間，為客戶帶來顯著的經濟效益。
品質保證： 擁有完善的質量管理體系，產品經過嚴格的檢測，并提供相關認證報告。
五、潛在客戶
目標客戶： 半導體制造企業、平板顯示企業、科研院所等。
行業背景： 半導體行業是技術密集型行業，對材料純度和性能要求極高。
需求痛點： 客戶迫切需要高性能、高可靠性的蝕刻氣體，以滿足不斷升級的工藝需求。
總結
六氟丁二烯C4F6作為新一代電子級高純氣體，具有高選擇性、高蝕刻速率、高純度、環境友好等優點，是半導體制造行業不可或缺的關鍵材料。其在提高產品性能、降低生產成本、保護環境等方面具有顯著優勢，是半導體企業實現技術升級和可持續發展的理想選擇。
產品優勢對比
| 特點 | 六氟丁二烯C4F6 | 傳統蝕刻氣體 |
|---|---|---|
| 選擇性 | 極高 | 較低 |
| 蝕刻速率 | 快 | 慢 |
| 純度 | 高 | 較低 |
| 環境影響 | 小 | 大 |
關鍵詞： 六氟丁二烯C4F6，電子級高純氣體，半導體制造，蝕刻氣體，高選擇性，高蝕刻速率，環境友好
