產品名稱:六氟乙烷
化學品俗名：全氟乙烷
產品分子式:C2F6
產品大類:蝕刻類
產品細類:蝕刻類
產品規格:5N:
儲存方式:鋼質氣瓶
| 產品說明 | 六氟乙烷（hexafluoroethane），又稱全氟乙烷，是乙烷中六個氫原子全部被氟原子取代后的產物，是鹵代烴（化學式：C2F6），亦是烴類化合物乙烷所對應的全氟化合物，是一種不易燃的氣體，難溶于水，微溶于醇。六氟乙烷可連同三氟甲烷一起用于制冷劑R508A（六氟乙烷占61%）及R508B（六氟乙烷占54%）。 |
| 產品用途 | 用作絕緣氣、等離子蝕刻劑, 高介電強度泠卻劑。 |
| 注意事項 | 本品可引起快速窒息。接觸后引起頭痛、惡心和眩暈。對環境有危害，對水體和大氣可造成污染，對大氣臭氧層有極強破壞力。本品不燃。 |
| 應用行業 | 半導體 |
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