產品名稱:三氯氫硅
化學品俗名：硅氯仿
產品分子式:SiHCl3
產品大類:沉積類
產品細類:沉積類
產品規格::
儲存方式:
| 產品說明 | 三氯氫硅又稱硅氯仿，別名硅仿、三氯硅烷、Trichlorosilane、Silicochloroform。甲硅烷的三氯代物。為一種易流動的無色液體。主要用于多晶硅、單晶硅原料、外延成長、硅液、硅油、化學氣相淀積、硅酮化合物制造、電子氣。 |
| 產品用途 | 主要用于多晶硅、單晶硅原料、外延成長、硅液、硅油、化學氣相淀積、硅酮化合物制造、電子氣。 |
| 注意事項 | 三氯硅烷有水分時腐蝕性極強。 |
| 應用行業 | 半導體、化工 |
| 資料下載 | 下載 |
